超純水系統工藝流程 超純水系統總體來說一般可分為三個部分:超純水制造區(CUB部分)、超純水拋光循環區(FAB部分)、超純水輸送管網(FAB各使用區)。
超純水系統工藝流程：
1、預處理→反滲透→水箱→陽床→陰床→混床→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精制混床→精密過濾器→用水對象
2、預處理→一級反滲透→加藥泵（PH調節）→中間水箱→二級反滲透→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
3、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象
超純水系統主要特點：
*該系統一切動作均在預設程序下自動進行，具備全自動功能。
*系統結構布置緊湊，有效節約空間。
*系統能耗低，制水成本低廉。
*系統運行安全可靠，供水管路封閉，出水水質穩定。
超純水系統適用范圍：生產半導體、光伏太陽能、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業用超純水系統。
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